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有源芯片

 仕佳光子新增特色服務—測試與可靠性業務為了方便閱讀,給您做了目錄指引:

【01】工藝監控

【02】性能評估

【03】可靠性測試

01

工藝監控

                                     

                                              樣

                                             2~6wafer  

                                             最5mm*5mm

                                             測

                                             光

                                             測: 

                                             532nm980nm

                                    波600~1700nm

 

                                X

                                   

                                   2~6wafer

                                   最10mm*10mm

                                   測

                                   搖ω/2θ

                                   測:

                                   三3.6"

 

                                  

                           

樣品類型:

最小尺寸10mm*10mm

測試項目:

電阻率、載流子濃度、遷移率

測試特點:

常溫測試、77K測試(液氮溫度)

載流子濃度:10^7~10^21cm^-3

遷移率:1~10^7cm^2/V/S

                         C-V

                                 樣品類型:

                                 最小尺寸12mm*12mm

                                 測試項目:

                                 載流子濃度

                                 測試特點:

                                 載流子濃度1^13~1^20cm^-3,

                                 腐蝕深度50nm~20μm

                          原子力顯微鏡-AFM

                              樣品尺寸:

                              直徑≤150mm

                              測試項目:

                              表面粗糙度、臺階測量

                              測試特點:

                              最大臺階測量高度≤10μm;

                              臺階測量高度誤差±1nm

                        掃描電子顯微鏡-SEM

                             樣品尺寸:

                             直徑≤50mm

                             測試項目:

                             表面結構和組分對比

                             測試特點:

                             最大分辨率 1.0nm;

                             放大倍數10x~1,000,000x

                       橢偏儀

                           樣品尺寸:

                           直徑≤200mm

                  測試項目:

         薄膜厚度、折射率

測試特點:

波長范圍300nm~1800nm;

厚度誤差±2nm;

折射率誤差±0.001

       

臺階儀

樣品尺寸:

直徑≤150mm

測試項目:

臺階測量

測試特點:

最大臺階高度≤327μm;

精度±4nm

分光光度計

樣品尺寸:

最小尺寸12mm*18mm;

最大尺寸100mm*80mm;

測試項目:

薄膜透射率和反射率

測試特點:

波長范圍400nm~3000nm;

精度誤差0.2%

                                                                                    02

性能評估

                                                                   

                                                                                       

        樣品封裝類型-介紹

        為方便芯片測試,需要將芯片封裝為不同的類型:

                        ?我司可提供所有的封裝代工服務。

 

非零延時自外差線寬測試

樣品類型:

TOSA、蝶形

測試項目:

利用非零延時自外差法測量激光器線寬

測試特點:

用聲光移頻器移頻

頻譜儀可測頻率范圍10Hz-44GHz

最佳激光器線寬測試能力<10KHz

可測激光器波長范圍:1540~1560nm

 洛倫茲線寬測試

樣品類型:

TOSA、蝶形

測試項目:

以功率譜密度形式測量光頻率噪聲

提取白噪聲、分析洛倫茲線寬

測試特點:

光頻率噪聲可測到20MHz

可測激光器波長范圍:

1260~1360nm、1520~1625nm

RIN測試

樣品類型:

COC、TOSA、蝶形

測試項目:

測試RIN值

測試張弛振蕩頻率

測試特點:

可測激光器波長范圍:1265nm-1625nm

可測頻率范圍:100MHz-26.5GHz

輸入功率高達7dB,改善測量信噪比

RIN測量值可低至-167dB/Hz

頻率穩定性測試

樣品類型:

TOSA、蝶形

測試項目:

測量信號的頻率相位抖動等

測試特點:

具有59GHz實時帶寬

采樣率160GSa/s(2通道),采樣率80GSa/s(4通道)

高達2Gpts的深存儲器捕獲更多數據

                          常規LIV測試

             

樣品類型:  

COC、TO、TOSA、蝶形

測試項目:

用來測試大功率半導體激光器的光電性能參數和LIV性能曲線,可計算閾值電流Ith、指定電流Io下的發光功率Pf、正向電壓Vf等參數

測試特點:

最大輸出電流:脈沖模式30A,連續模式3A

脈寬最小可設到1μs

占空比最大1%

PD響應波長范圍 800~1700nm

       光譜測試

樣品類型:

COC、TO、TOSA、蝶形

測試項目:

測量連續和脈沖電流模式下激光器的光譜,可計算中心波長、邊模抑制比、譜寬等參數

測試特點:

可測激光器波長范圍:600-1700nm

分辨率最小可設到0.02nm

S參數測試

樣品類型:

COC、蝶形

測試項目:

可測試3dB帶寬、相位、反射系數、電壓駐波比、群時延

測試特點:

10MHz-67GHz測試范圍,可測試激光器、調制器、探測器以及無源產品

1dB壓縮點測試

樣品類型:

COC、蝶形

測試項目:

可測試產品射頻功率輸入輸出線性度

測試特點:

微波源頻率可達44GHz

頻譜儀頻率10MHz-44GHz

二次諧波抑制比測試

 

樣品類型:

COC、蝶形

測試項目:

測試產品的諧波產物,評估產品的非線性及失真指標

測試特點:

微波源頻率可達44GHz

頻譜儀頻率10MHz-44GHz

三階交調測試

樣品類型:

COC、蝶形

測試項目:

測試三階交調產物,衡量產品線性度

測試特點:

微波源頻率可達44GHz

頻譜儀頻率10MHz-44GHz

       鏈路噪聲系數測試

樣品類型:

7PIN蝶形、BOX

測試項目:

測量大功率激光器或者常規激光器鏈路噪聲系數

測試特點:

可測頻率范圍最高可達26.5GHz

靈敏度測試

 

樣品類型:

ROSA 、BOX

測試項目:

靈敏度測試

測試特點:

頻率范圍2.5-32GHz

                                                                                                                                                   

                                                                                             03

可靠性測試

腔體式TO試驗箱

樣品類型:

TO

測試項目:

TO封裝的激光器進行Burn-in和加速老化試驗

測試特點:

上下箱體溫度分別設定;互不干擾;

溫度范圍:RT+25~150℃;

各個老化板電流分別控制,電流范圍0~200mA;

定時記錄各通道背光電流值。

抽屜式TO試驗箱

樣品類型:

TO

測試項目:

TO封裝的激光器進行Burn-in和加速老化試驗

測試特點:

具有ACC和APC模式;

各盒內溫度分別設定,互不干擾;

溫度范圍:RT+25~150℃;

各老化盒電流分別控制,電流范圍0~300mA;

定時記錄各通道背光電流值。

抽屜式COC試驗箱

樣品類型:

COC

測試項目:

COC封裝的激光器進行Burn-in和加速老化試驗

測試特點:

具有ACC和APC模式;

各盒內溫度分別設定;互不干擾;

溫度范圍:RT+25~150℃;

各老化盒電流分別控制,電流范圍0~500mA;

定時記錄各通道前光功率值。

抽屜式COC試驗箱

樣品類型:

COC

測試項目:

COC封裝的激光器進行Burn-in和加速老化試驗

測試特點:

兼容直流輸出和脈沖輸出模式;

各盒內溫度分別設定,溫度范圍:RT+ 25~120℃;

CW:0~2A;

QCW:0~3A,脈寬1us~20us,占空0.01%~10%;

定時記錄各通道前光功率值。

高溫高濕加電試驗箱

樣品類型:

TO

測試項目:

TO封裝的激光器濕熱環境帶電老化試驗

測試特點:

箱體溫度設定范圍:-40℃~150℃;

箱體濕度設定范圍:0%~98%RH

各個老化板電流分別控制,電流范圍0~200mA;

定時記錄各通道背光電流值。

抽屜式TO試驗箱

樣品類型:

TO

測試項目:

TO封裝的激光器進行Burn-in和加速老化試驗。

測試特點:

具有ACC和APC模式;

各抽屜溫度分別設定,溫度范圍:RT+45~120℃;

各老化抽屜電流分別控制,電流范圍0~1A;

定時記錄各通道背光電流值

抽屜式COC試驗箱

樣品類型:

COC

測試項目:

COC封裝的激光器進行Burn-in和加速老化試驗。

測試特點:

各抽屜溫度分別設定,溫度范圍:RT+45~120℃;

各老化抽屜電流分別控制,電流范圍0~6A;

定時記錄各通道前光功率值。

高壓加速老化試驗機

樣品類型:

適用于多種產品類型

測試項目:

用于產品研發設計階段工藝快速驗證

測試特點:

溫度:+100 ℃~+132 ℃(飽和蒸氣溫度);

壓力:0.120~0.289Mpa;

濕度:100%RH,不可調。

HAST高壓加速老化試驗機

樣品類型:

適用于多種產品類型

測試項目:

用于產品研發設計階段工藝快速驗證

測試特點:

溫度:+100 ℃~+147℃;

壓力:0.120~0.289Mpa;

濕度:70-100%RH,可調。

可程式恒溫恒濕箱

樣品類型:

適用于多種產品類型

測試項目:

用于產品常規可靠性試驗,驗證產品在高低溫交變環境下性能

測試特點:

溫度:-70 ℃~+150℃;

濕度:20-98%RH;

電熱鼓風干燥箱

樣品類型:

適用于多種產品類型

測試項目:

用于產品常規可靠性試驗,驗證產品在高溫環境下性能

測試特點:

溫度:室溫+10 ℃~+200℃。

靜電放電發生器

樣品類型:

Chip、TO

測試項目:

半導體激光器、器件進行靜電抗擾度測試

測試特點:

放電模式:HBM人體靜電放電模型;

放電網絡:1500Ω/100pF;

最大靜電電壓:±8.000kV。

LC310液相色譜儀

樣品類型:

物料鄰苯四項的含量

測試項目:

用于物料Rohs2.0檢測

測試特點:

可用于檢測物料中鄰苯二甲酸二異丁酯(DIBP)、鄰苯二甲酸(2-乙基己基酯)(DEHP)、鄰苯二甲酸二丁酯(DBP)鄰苯二甲酸丁芐酯(BBP)含量。

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