仕佳光子新增特色服務—測試與可靠性業務,為了方便閱讀,給您做了目錄指引:
【01】工藝監控
【02】性能評估
【03】可靠性測試
01
工藝監控
光致發光掃描測試系統
樣品類型:
2寸~6寸wafer
最小尺寸5mm*5mm
測試項目:
光致發光的光譜
測試特點:
532nm和980nm激光器
波長范圍600~1700nm
X射線衍射儀
樣品類型:
2寸~6寸wafer
最小尺寸10mm*10mm
測試項目:
搖擺曲線、ω/2θ掃描
測試特點:
三軸晶分辨率3.6"
霍爾效應測試儀
樣品類型:
最小尺寸10mm*10mm
測試項目:
電阻率、載流子濃度、遷移率
測試特點:
常溫測試、77K測試(液氮溫度)
載流子濃度:10^7~10^21cm^-3
遷移率:1~10^7cm^2/V/S
電化學C-V測試系統
樣品類型:
最小尺寸12mm*12mm
測試項目:
載流子濃度
測試特點:
載流子濃度1^13~1^20cm^-3,
腐蝕深度50nm~20μm
原子力顯微鏡-AFM
樣品尺寸:
直徑≤150mm
測試項目:
表面粗糙度、臺階測量
測試特點:
最大臺階測量高度≤10μm;
臺階測量高度誤差±1nm
掃描電子顯微鏡-SEM
樣品尺寸:
直徑≤50mm
測試項目:
表面結構和組分對比
測試特點:
最大分辨率 1.0nm;
放大倍數10x~1,000,000x
橢偏儀
樣品尺寸:
直徑≤200mm
測試項目:
薄膜厚度、折射率
測試特點:
波長范圍300nm~1800nm;
厚度誤差±2nm;
折射率誤差±0.001
臺階儀
樣品尺寸:
直徑≤150mm
測試項目:
臺階測量
測試特點:
最大臺階高度≤327μm;
精度±4nm
分光光度計
樣品尺寸:
最小尺寸12mm*18mm;
最大尺寸100mm*80mm;
測試項目:
薄膜透射率和反射率
測試特點:
波長范圍400nm~3000nm;
精度誤差0.2%
02
性能評估
樣品封裝類型-介紹
為方便芯片測試,需要將芯片封裝為不同的類型:
?我司可提供所有的封裝代工服務。
非零延時自外差線寬測試
樣品類型:
TOSA、蝶形
測試項目:
利用非零延時自外差法測量激光器線寬
測試特點:
用聲光移頻器移頻
頻譜儀可測頻率范圍10Hz-44GHz
最佳激光器線寬測試能力<10KHz
可測激光器波長范圍:1540~1560nm
洛倫茲線寬測試
樣品類型:
TOSA、蝶形
測試項目:
以功率譜密度形式測量光頻率噪聲
提取白噪聲、分析洛倫茲線寬
測試特點:
光頻率噪聲可測到20MHz
可測激光器波長范圍:
1260~1360nm、1520~1625nm
RIN測試
樣品類型:
COC、TOSA、蝶形
測試項目:
測試RIN值
測試張弛振蕩頻率
測試特點:
可測激光器波長范圍:1265nm-1625nm
可測頻率范圍:100MHz-26.5GHz
輸入功率高達7dB,改善測量信噪比
RIN測量值可低至-167dB/Hz
頻率穩定性測試
樣品類型:
TOSA、蝶形
測試項目:
測量信號的頻率相位抖動等
測試特點:
具有59GHz實時帶寬
采樣率160GSa/s(2通道),采樣率80GSa/s(4通道)
高達2Gpts的深存儲器捕獲更多數據
常規LIV測試
樣品類型:
COC、TO、TOSA、蝶形
測試項目:
用來測試大功率半導體激光器的光電性能參數和LIV性能曲線,可計算閾值電流Ith、指定電流Io下的發光功率Pf、正向電壓Vf等參數
測試特點:
最大輸出電流:脈沖模式30A,連續模式3A
脈寬最小可設到1μs
占空比最大1%
PD響應波長范圍 800~1700nm
光譜測試
樣品類型:
COC、TO、TOSA、蝶形
測試項目:
測量連續和脈沖電流模式下激光器的光譜,可計算中心波長、邊模抑制比、譜寬等參數
測試特點:
可測激光器波長范圍:600-1700nm
分辨率最小可設到0.02nm
S參數測試
樣品類型:
COC、蝶形
測試項目:
可測試3dB帶寬、相位、反射系數、電壓駐波比、群時延
測試特點:
10MHz-67GHz測試范圍,可測試激光器、調制器、探測器以及無源產品
1dB壓縮點測試
樣品類型:
COC、蝶形
測試項目:
可測試產品射頻功率輸入輸出線性度
測試特點:
微波源頻率可達44GHz
頻譜儀頻率10MHz-44GHz
二次諧波抑制比測試
樣品類型:
COC、蝶形
測試項目:
測試產品的諧波產物,評估產品的非線性及失真指標
測試特點:
微波源頻率可達44GHz
頻譜儀頻率10MHz-44GHz
三階交調測試
樣品類型:
COC、蝶形
測試項目:
測試三階交調產物,衡量產品線性度
測試特點:
微波源頻率可達44GHz
頻譜儀頻率10MHz-44GHz
鏈路噪聲系數測試
樣品類型:
7PIN蝶形、BOX
測試項目:
測量大功率激光器或者常規激光器鏈路噪聲系數
測試特點:
可測頻率范圍最高可達26.5GHz
靈敏度測試
樣品類型:
ROSA 、BOX
測試項目:
靈敏度測試
測試特點:
頻率范圍2.5-32GHz
03
可靠性測試
腔體式TO試驗箱
樣品類型:
TO
測試項目:
TO封裝的激光器進行Burn-in和加速老化試驗
測試特點:
上下箱體溫度分別設定;互不干擾;
溫度范圍:RT+25~150℃;
各個老化板電流分別控制,電流范圍0~200mA;
定時記錄各通道背光電流值。
抽屜式TO試驗箱
樣品類型:
TO
測試項目:
TO封裝的激光器進行Burn-in和加速老化試驗
測試特點:
具有ACC和APC模式;
各盒內溫度分別設定,互不干擾;
溫度范圍:RT+25~150℃;
各老化盒電流分別控制,電流范圍0~300mA;
定時記錄各通道背光電流值。
抽屜式COC試驗箱
樣品類型:
COC
測試項目:
COC封裝的激光器進行Burn-in和加速老化試驗
測試特點:
具有ACC和APC模式;
各盒內溫度分別設定;互不干擾;
溫度范圍:RT+25~150℃;
各老化盒電流分別控制,電流范圍0~500mA;
定時記錄各通道前光功率值。
抽屜式COC試驗箱
樣品類型:
COC
測試項目:
COC封裝的激光器進行Burn-in和加速老化試驗
測試特點:
兼容直流輸出和脈沖輸出模式;
各盒內溫度分別設定,溫度范圍:RT+ 25~120℃;
CW:0~2A;
QCW:0~3A,脈寬1us~20us,占空0.01%~10%;
定時記錄各通道前光功率值。
高溫高濕加電試驗箱
樣品類型:
TO
測試項目:
TO封裝的激光器濕熱環境帶電老化試驗
測試特點:
箱體溫度設定范圍:-40℃~150℃;
箱體濕度設定范圍:0%~98%RH
各個老化板電流分別控制,電流范圍0~200mA;
定時記錄各通道背光電流值。
抽屜式TO試驗箱
樣品類型:
TO
測試項目:
TO封裝的激光器進行Burn-in和加速老化試驗。
測試特點:
具有ACC和APC模式;
各抽屜溫度分別設定,溫度范圍:RT+45~120℃;
各老化抽屜電流分別控制,電流范圍0~1A;
定時記錄各通道背光電流值
抽屜式COC試驗箱
樣品類型:
COC
測試項目:
COC封裝的激光器進行Burn-in和加速老化試驗。
測試特點:
各抽屜溫度分別設定,溫度范圍:RT+45~120℃;
各老化抽屜電流分別控制,電流范圍0~6A;
定時記錄各通道前光功率值。
高壓加速老化試驗機
樣品類型:
適用于多種產品類型
測試項目:
用于產品研發設計階段工藝快速驗證
測試特點:
溫度:+100 ℃~+132 ℃(飽和蒸氣溫度);
壓力:0.120~0.289Mpa;
濕度:100%RH,不可調。
HAST高壓加速老化試驗機
樣品類型:
適用于多種產品類型
測試項目:
用于產品研發設計階段工藝快速驗證
測試特點:
溫度:+100 ℃~+147℃;
壓力:0.120~0.289Mpa;
濕度:70-100%RH,可調。
可程式恒溫恒濕箱
樣品類型:
適用于多種產品類型
測試項目:
用于產品常規可靠性試驗,驗證產品在高低溫交變環境下性能
測試特點:
溫度:-70 ℃~+150℃;
濕度:20-98%RH;
電熱鼓風干燥箱
樣品類型:
適用于多種產品類型
測試項目:
用于產品常規可靠性試驗,驗證產品在高溫環境下性能
測試特點:
溫度:室溫+10 ℃~+200℃。
靜電放電發生器
樣品類型:
Chip、TO
測試項目:
半導體激光器、器件進行靜電抗擾度測試
測試特點:
放電模式:HBM人體靜電放電模型;
放電網絡:1500Ω/100pF;
最大靜電電壓:±8.000kV。
LC310液相色譜儀
樣品類型:
物料鄰苯四項的含量
測試項目:
用于物料Rohs2.0檢測
測試特點:
可用于檢測物料中鄰苯二甲酸二異丁酯(DIBP)、鄰苯二甲酸(2-乙基己基酯)(DEHP)、鄰苯二甲酸二丁酯(DBP)鄰苯二甲酸丁芐酯(BBP)含量。